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擴散硅充油芯體在技術上有6大特點
  • 發布日期:2023-01-09      瀏覽次數:389
    •   擴散硅充油芯體是制造壓力傳感器與變送器的核心芯體,作為一種高性能的敏感元件,可以很方便地進行信號放大處理,裝配成標準信號輸出的變送器,廣泛地用于石油、化工、冶金、電力、電子系統、航天航空、醫療、化工、汽車、機電設備等行業的過程控制。
       
        它是將擴散硅壓力敏感元件封裝于316L的材料中,外加壓力通過不銹鋼膜片、內部密封的硅油傳遞到敏感的芯片上,敏感元件不直接接觸被測介質,形成壓力測量的全固態結構,所以適用于各種環境,包括惡劣的腐蝕介質環境。
       
        擴散硅充油芯體的技術特點:
        1、靈敏度高:
        擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50?80倍,它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接口電路適配性好,應用成本相應較低。由于它輸入激勵電壓低,輸出信號大,且無機械動件損耗,因而分辨率較高。
        2、精度高:
        擴散硅充油芯體的感受、敏感轉換和檢測三位一體,無機械動件連接轉換環節,所以重復性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好,形變小,因而傳感器的線性也非常好,因此綜合表態精度很高。
        3、可靠性高:
        擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級,膜片最大位移量在來微米數量級,且無機械磨損、無疲勞、無老化。性能穩定,可靠性高。
        4、頻響高:
        由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在50KC。制造過程采用了集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配以剛性結構前置安裝特殊設計,使傳感器頻率響應很高,使用帶寬可達零頻至100千赫茲。
        5、溫度性能好:
        隨著集成工藝技術進步,擴散硅敏感膜的四個電阻一致性得到進一步提高,原始的手工補償已被激光調阻、 計算機自動修整技術所替代,傳感器的零位和靈敏度溫度系數已達10-5/°C數量級,工作溫度也大幅度提高。
        6、抗電擊穿性能好:
        由于采用了特殊材料和裝配工藝,擴散硅充油芯體不但可以做到130℃正常使用,在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。
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